派瑞林涂层可保护各种橡胶和弹性体组件,包括密封件、垫圈,键盘、导管、塞子、级硅树脂或橡胶产品,派瑞林涂层具有良好的生物相容性,无毒和化学惰性保护屏障,因此,对于提升器械防护性能具有很好的防护作用。
派瑞林(Parylene)涂层通过气相沉积工艺在真空室中施加,并且在涂覆过程中,派瑞林单体能够渗透橡胶和塑料的表面,从而提供优异的粘附性。派瑞林(Parylene)薄而透明的柔韧特性通过保护表面和改善表面特性,提高了橡胶和弹性体组件的性能。在不降低部件功能性能的情况下进行这些改进。派瑞林(Parylene)产生真正的保形涂层部件,在平坦的表面区域和孔的内部尺寸周围具有一致的厚度。无派瑞林(Parylene)涂层可以防止物质转移到涂层基材中或从涂层基材中转移出来,即使在一个或两个微米层中也是如此,派瑞林(Parylene)涂层密封较复杂的印刷品。
PVD是物理气相沉积的简称,是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上真空镀膜。利用物理过程实现物质转移,在工件表面形成具有特殊性能的金属或化合物涂层,其特殊性能包括强度高、耐磨性、散热性、耐腐性、以及绝缘等。涂层的物质源是固态物质,利用气体放电或加热的方式使靶材蒸发或者电离,经过“蒸发或者溅射”后,在电场的作用下,在工件表面生成与基材性能不同的固态物质涂层。
在日常的操作中,有些用户由于其操作不当导致镀膜效果欠佳的问题,在PVD真空镀膜过程中,镀膜机腔体内的压力波动将导致镀膜不均匀以及重复性欠佳。质量流量控制器控制反应气体的同时,采用压力控制器控制腔体内惰性气体的压力,从而提升终等离子气相沉积(PVD)的结果。
首先采用深反应离子刻蚀制作微通道,然后沉积派瑞林涂层C在微通道上,同时派瑞林涂层沉积在纯铁片上,在其上制作金电极,在200℃真空箱内将派瑞林涂层键合,剥去纯铁片以及采用特殊工艺释放(Parylene)涂层微通道。通过控制(Parylene)涂层沉积的厚度,可以在相同的微通道上制作不同深宽比的派瑞林涂层微通道,同时也可以制作多层结构微通道。用此方法制作的各种微通道(所有微通道的内径为80μm宽、50μm深、壁厚为10μm)。通过此方法,可以快速低成本地制作派瑞林涂层微通道,并通过释放工艺可以获得很好的派瑞林涂层微通道,同时可以重复使用硅模,普遍用于气相色谱分析等微流体系统分析中。派瑞林涂层阻滞性佳,湿气及气体渗透性极低,具高屏障效果,抗酸碱性。以上信息由专业从事弹簧派瑞林镀膜技术的菱威纳米于2024/4/20 8:54:22发布
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